Machine de test de revêtement de précision à fente ST-5000G
ProduitIntroduction:
La machine expérimentale de revêtement de précision ST-5000G est un nouveau type de machine expérimentale de revêtement de haute précision, de haute fiabilité et de haute stabilité. Les caractéristiques de l'équipement sont les suivantes : avec la pompe de collage de haute précision et la filière à fente de haute précision auto-produites et développées, le médicament liquide est uniformément appliqué sur le substrat rigide pour préparer un revêtement mince de grande surface avec une grande uniformité d'épaisseur de film.
Paramètres de l'appareil :
Substrats applicables :
| (1) | Taille du substrat | 500 mm * 500 mm |
| (2) | Planéité du substrat | <10u |
| (3) | Mouillabilité du substrat | <15° |
| (4) | Température du substrat | 23±2℃ |
Liquides applicables :
| (1) | type | Isopropanol, DMF, DMSO et autres solvants organiques ou autres solvants mixtes |
| (2) | viscosité | 1~70CPS |
| (3) | Teneur en solides | 7%~50% |
Performances du processus de l'équipement :
| (1) | Méthode de formation du film | Revêtement par fente |
| (2) | viscosité | 300nm~10um (film sec) |
| (3) | Homogénéité de la formation du film | 5% ≤ dans le film, 5% ≤ entre les films |
Filière de revêtement:
| Numéro | Projet | Paramètres techniques | Remarque |
| 1 | Matériel | SUS630 | |
| 2 | Largeur revêtue | 450mm | |
| 3 | Planéité/rectitude | ≤3um | |
| 4 | Rugosité de la lumière | Ra≤0.025 | |
| 5 | Écarts de fente | Type de joint, uniformité de l'épaisseur du joint ≤±2um | |
| 6 | Plage de réglage de l'écart | ≤±10um | |
| 7 | Sauf pour la plage de bord | ≤10mm | |
| 8 | Ensemble anti-collision de la tête de revêtement | Il est inférieur de 20 um à la lèvre, ce qui empêche efficacement la lèvre d'entrer en collision | |
| 9 | Correction de la tête de revêtement | Elle est automatiquement corrigée par un capteur de déplacement linéaire de haute précision | |
| 10 | Conception de drainage des bulles | La chambre de la filière est de haut niveau et possède un niveau élevé de trous de vésicules |
Pompes de revêtement :
| Numéro | Projet | Paramètres techniques | Remarque |
| 1 | Matériau du corps de pompe | SUS316L | |
| 2 | Matériau de la bague d'étanchéité | Joints résistants à la corrosion | |
| 3 | Volume de la pompe | 5ml | |
| 4 | Contrôle d'entraînement | Servomoteur, vis à billes | |
| 5 | Résolution de contrôle de la pulvérisation | 0,01ul/s | |
| 6 | Temps de réponse | 0,01s | |
| 7 | Vitesse de pulvérisation | 0~2000ul/s | |
| 8 | Accélération maximale de pulvérisation | 2000ul/s² | |
| 9 | Configuration fonctionnelle |
1) La pompe d'alimentation en liquide soulage automatiquement la pression après le remplissage; 2) Fonction de retard de décharge de liquide ; 3) Fonction d'aspiration terminale ; 4) Fonction de réhydratation automatique ; 5) Réglage du revêtement multi-étapes ; |
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| Numéro | Projet | Paramètres techniques |
| 1 | Nombre d'axes Z | 2个 |
| 2 | Résolution de l'axe Z | 0,1um |
| 3 | Contrôle d'entraînement de l'axe Z | Servomoteur, vis de qualité de meulage, rail de guidage |
| 4 | Répétabilité de l'axe Z | ≤5um |
| 5 | Plage de vitesse de l'axe Z | 0~50mm/s |
| 6 | Type d'entraînement de l'axe Y | Entraînement par plateforme |
| 7 | Contrôle d'entraînement de l'axe Y | Servomoteur, vis de qualité de meulage, rail de guidage |
| 8 | Plage de vitesse de l'axe Y | 0~200mm/s |
| 9 | Précision de la surface de mouvement de l'axe Y | Meilleur que ±5um |
| 10 | Répétabilité de l'axe Y | ≤5um |
| 11 | Configuration fonctionnelle |
1) L'accélération et la décélération du revêtement peuvent être définies et ajustées ; 2) Écart de revêtement réglable; 3) Écart réglable de la rétraction d'extrémité ; |
Plateforme de revêtement :
| Numéro | Projet | Paramètres techniques | Remarque |
| 1 | Matériel | Granit de qualité 000 | |
| 2 | S'adapte à la taille du substrat | 500*500mm | |
| 3 | Planéité de la surface | Niveau ≤±5um | |
| 4 | Positionnement du substrat | Adsorption sous vide de la plateforme | |
| 5 | Alignement du substrat | Manuel | |
| 6 | Ramasser et placer la tablette | Manuel |
Système d'alimentation en liquide :
| Numéro | Projet | Paramètres techniques | Remarque |
| 1 | Matériau de la tuyauterie | PFA | |
| 2 | Réservoir d'alimentation en liquide | Matériau pelé, volume de 100 ml | |
| 3 | Méthode d'alimentation en liquide | Le réservoir est pressurisé | |
| 4 | Laver le réservoir | Fabriqué en acier inoxydable |
Unité de nettoyage de pré-revêtement :
| Numéro | Projet | Paramètres techniques | Remarque |
| 1 | Méthode de pré-revêtement | Plateforme de pré-revêtement | |
| 2 | Nettoyage des lèvres de la filière | Manuel | |
| 3 | Tremper et vider le réservoir | Il est utilisé lorsque l'équipement est inactif, que la canalisation est propre et que les déchets sont évacués |
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Numéro |
Projet | Paramètres techniques | Remarque |
| 1 | écran tactile | Plateforme de pré-revêtement | |
| 2 | Fonction d'enregistrement des journaux | Le processus de revêtement de chaque substrat peut être visualisé, y compris la vitesse et les paramètres de position de chaque axe du revêtement à chaque point temporel du processus de revêtement | |
| 3 | Autorisations opérationnelles |
Trois types d'autorisations d'opération pour se connecter. Les actions manuelles, semi-automatiques et automatiques de l'appareil peuvent toutes être opérées sur l'interface |
| Numéro | Projet | Paramètres techniques | Remarque |
| 1 | composer | Alliage, plaque perforée, FFU, bande d'étanchéité | |
| 2 | concevoir | Transparent peut observer l'état du revêtement en temps réel. La purge FFU à micro-pression positive garantit que l'environnement externe est meilleur que celui de la classe 1 000 dans l'environnement externe | |
| 3 | échappement | Le couvercle extérieur est réservé avec des orifices d'échappement organiques, et la taille de l'interface est DN80 |
Configurer le liste de contrôle:
Configuration principale :
| Numéro | Nom | Marque | L'emplacement de la marque |
| 1 | PLC | Siemens | Allemagne |
| 2 | Servomoteur | Panasonic | Chine |
| 3 | Convertisseurs de fréquence | INVT | Chine |
| 4 | IHM | Tonality Kunlun | Japon |
| 5 | Roulement | NSK / FAG | Japon/Allemagne |
| 6 | Disjoncteurs miniatures | Schneider/CHINT | France/Chine |
| 7 | Relais | Schneider | France |
| 8 | Interrupteur d'air | Schneider/CHINT | France/Chine |
Configuration de sécurité de l'appareil :
| 1 | Interrupteur d'urgence | Le couvercle propre, l'interface d'opération, le boîtier de commande électrique et d'autres positions sont équipés d'interrupteurs EMO, et plusieurs points peuvent être rapidement arrêtés en cas d'urgence |
| 2 | Verrous de sécurité | La source des risques de la machine utilise un dispositif de verrouillage matériel à sécurité intégrée, qui arrête le fonctionnement des unités susceptibles de causer des blessures lorsque le couvercle de protection de l'équipement est ouvert. |
| 3 | Alarme sonore et lumineuse | L'équipement est installé avec un dispositif d'alarme sonore et visuelle dans une position visible ou spécifiée par le client |
| 4 | Couvercle propre | L'équipement est isolé par un couvercle extérieur, et le cache-poussière est tenu à l'écart de l'environnement extérieur tout en empêchant le personnel d'entrer pendant le fonctionnement |
| 5 | Ventilation et échappement | Le revêtement de gaz organiques volatils est conçu avec un raccord d'échappement |
| 6 | autre | La conception de l'équipement pour l'utilisation de l'eau, de l'électricité et des produits chimiques est conforme aux normes de sécurité nationales |