| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Étage de granit | (390 * 220) mm |
| Scène de verre | (229.5 * 129,5) mm |
| Voyage de l'axe x / y | (200 * 100) mm |
| Échelles linéaires | Résolution: 0,5UM |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Étage de granit | (505 * 350) mm |
| Scène de verre | (356 * 248) mm |
| Voyage de l'axe x / y | (300 * 200) mm |
| Échelles linéaires | Résolution: 0,5UM |
| Code# | 525-020dp |
|---|---|
| Étage de granit | (310 * 220) mm |
| Scène de verre | (179,5 * 129,5) mm |
| Voyage de l'axe x / y | (150 * 100) mm |
| Échelles linéaires | Résolution: 0,5UM |