| Code # | 522 à 280G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300*200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 522 à 420G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300*200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.5um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 2,0+L/200 ((um) |
| Code # | 524 à 220H |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Répétabilité | 2um |
| Code # | 524 à 220H |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Répétabilité | 2um |
