| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code # | 502 à 120G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300*200) mm |
| Dimension (WxDxH) | (1237*740*1664) mm |
| Le poids | 380KG |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| Code # | 529 à 120G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300*200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Précision de l'axe XY | ≤2,5+L/200 ((um) |