| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Étage de granit | (390 * 220) mm |
| Scène de verre | (229.5 * 129,5) mm |
| Voyage de l'axe x / y | (200 * 100) mm |
| Échelles linéaires | Résolution: 0,5UM |
| Code# | 529 à 120G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300 * 200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5UM |
| Précision de l'axe XY | ≤2,5+L/200 ((um) |
| Code# | 502 à 120G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300 * 200) mm |
| Dimension (LxPxH) | (1237*740*1664) mm |
| Poids | 380kg |
| Voyage par axe Z | 200mm |