| Code # | 523 à 180M |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (1500*1200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Code # | 524 à 220H |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Répétabilité | 2um |
| Code # | 523 à 280N |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (1200*1000) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤2,5+L/200 ((um) |
| Code # | 524 à 220H |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Répétabilité | 2um |