| Code # | 522 à 120H |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.5m |
| Précision de l'axe XY | ≤ 2,0+L/200 ((um) |
| Code # | 522 à 180 après JC |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 522 à 180J |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (500*400) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 522 à 280G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300*200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 523 à 280K |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (600*500) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 523 à 480L |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (800*600) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 523 à 280L |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (800*600) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 523 à 180M |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (1500*1200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code # | 500 à 80 |
|---|---|
| Lentille | 0.088X Lentille télécentrique double |
| Distance de fonctionnement | 120 mm |
| Large champ | Ø116 mm ((94x76) |
| Précision de mesure | ±4um |