| Code# | 522 à 180 après JC |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0,1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code# | 522 à 180J |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (500*400) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0,1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code# | 522 à 280G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300 * 200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0,1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code# | 523 à 280K |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (600*500) mm |
| Voyage par axe Z | 200mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code# | 523 à 480L |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (800*600) mm |
| Voyage par axe Z | 200mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code# | 523 à 280L |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (800*600) mm |
| Voyage par axe Z | 200mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code# | 523 à 180M |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (1500*1200) mm |
| Voyage par axe Z | 200mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Code# | 525-020dp |
|---|---|
| Étage de granit | (310 * 220) mm |
| Scène de verre | (179,5 * 129,5) mm |
| Voyage de l'axe x / y | (150 * 100) mm |
| Échelles linéaires | Résolution: 0,5UM |
| Code# | 500 à 80 |
|---|---|
| Lentille | 0.088X Lentille télécentrique double |
| Distance de travail | 120mm |
| Large champ | Ø116 mm ((94x76) |
| Précision des mesures | ±4um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Voyage de la scène de travail | 355x125 mm |
| Voyage de l'axe x / y | 200x120 mm |
| Axe z | 110mm |
| Précision des mesures | ≤3 + l / 200um |