| Code# | 525-020dp |
|---|---|
| Étage de granit | (310 * 220) mm |
| Scène de verre | (179,5 * 129,5) mm |
| Voyage de l'axe x / y | (150 * 100) mm |
| Échelles linéaires | Résolution: 0,5UM |
| Code# | Le numéro de série 525-020P |
|---|---|
| Étage de granit | (310 * 220) mm |
| Scène de verre | (179,5 * 129,5) mm |
| Voyage de l'axe x / y | (150 * 100) mm |
| Échelles linéaires X/Y | Résolution: 0,5UM |
| Code# | 512 à 350 |
|---|---|
| Taille de l'étape de travail | 355x126 mm |
| Voyage de la scène de travail | 200x100mm |
| Mise au point | 90mm |
| Précision | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Voyage de la scène de travail | 355x125 mm |
| Voyage de l'axe x / y | 200x120 mm |
| Axe z | 110mm |
| Précision des mesures | ≤3 + l / 200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Voyage de la scène de travail | 355x125 mm |
| Voyage de l'axe x / y | 200x120 mm |
| Axe z | 110mm |
| Précision des mesures | ≤3 + l / 200um |