| Code # | Le numéro de série 525-020P |
|---|---|
| Scène en granit | (310*220) mm |
| Étape en verre | (179,5*129,5) mm |
| Déplacement axe X/Y | (150*100) mm |
| Échelles linéaires X/Y | Résolution: 0,5 μm |
| Code # | Le numéro de série 525-020P |
|---|---|
| Scène en granit | (310*220) mm |
| Étape en verre | (179,5*129,5) mm |
| Déplacement axe X/Y | (150*100) mm |
| Échelles linéaires X/Y | Résolution: 0,5 μm |
| Code # | 512 à 350 |
|---|---|
| Taille de l'étape de travail | 355x126 mm |
| Voyage au cours de la phase de travail | 200x100mm |
| Concentrer | 90 mm |
| Précision | ≤3+L/200 (um) |
