| Code # | Le numéro de série 525-020P |
|---|---|
| Scène en granit | (310*220) mm |
| Étape en verre | (179,5*129,5) mm |
| Déplacement axe X/Y | (150*100) mm |
| Échelles linéaires X/Y | Résolution: 0,5 μm |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code # | 542 à 310 |
|---|---|
| Voyage au cours de la phase de travail | 355 x 125 mm |
| Voyage de X/Y-Axis | 200x120 mm |
| Axe Z | 110 mm |
| Précision de mesure | ≤3+L/200um |
| Code # | 525 à 380K |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (500*500) mm |
| Voyage par axe Z | 300 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Mode de guidage | Rails de guidage linéaires de précision |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code # | 524 à 220H |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Répétabilité | 2um |
| Code # | 524 à 220H |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Répétabilité | 2um |
| Code # | 529-120J |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (500*400) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Code # | 529 à 120H |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Code # | 529 à 120G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300*200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Précision de l'axe XY | ≤2,5+L/200 ((um) |