| Code # | 521 à 320J |
|---|---|
| Bateau de travail en marbre | (650*580) mm |
| Table de travail en verre | (540*440) mm |
| Voyage sur l'axe X/Y | (500*400) mm |
| Voyage par axe Z | Parcours effectif 200 mm |
| Code # | 522 à 180 après JC |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |