| Vimea322A | 524 à 220G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300*200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de 3 axes X/Y/Z ((mm)) | Résolution: 0,5 μm |
| Répétabilité | 2um |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code # | Le numéro de série 525-020P |
|---|---|
| Scène en granit | (310*220) mm |
| Étape en verre | (179,5*129,5) mm |
| Déplacement axe X/Y | (150*100) mm |
| Échelles linéaires X/Y | Résolution: 0,5 μm |
| Code # | 522 à 180 après JC |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (400*300)mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 522 à 180J |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (500*400) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 522 à 280G |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300*200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | 0.1um |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 500 à 30 |
|---|---|
| Lentille | 0.3X Double télécentrique |
| Distance de fonctionnement | 110 millimètres |
| Large champ | Ø 30 mm ((28x24) |
| Précision de mesure | ±2um |
| Code # | 523 à 280K |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (600*500) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 1,8+L/200 ((um) |
| Code # | 523 à 180M |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (1500*1200) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0,1 mm |
| Précision de l'axe XY | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Code # | 528 à 180H |
|---|---|
| Voyage sur l'axe X/Y | (300*400) mm |
| Voyage par axe Z | 200 mm |
| L'échelle linéaire de l'axe X/Y/Z | Résolution: 0.1m |
| Précision de l'axe XY | ≤1,2+L/200 ((um) |